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真空镀膜设备有哪些基本技术要求操作方法是什么

2021-11-24 来源:邯郸农业机械网

2019-04-30 20:59:30来源:贤集网 赵媛

真空镀膜设备主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。其主要思路是分成蒸发和溅射两种,需要镀膜的被成为基片,镀的材料被成为靶材,基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。如果是对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。下面贤集网小编来为大家介绍真空镀膜设备有哪些基本技术要求?操作方法、使用一定要注意的5点事项、适用范围、设备作业时的应急预案、维修保养。一起来看看吧!

真空镀膜设备有哪些基本技术要求?

1、设备中的真空管道、静态密封零部件(法兰、密封圈等)的结构形式,应符合GB/T6070的规定。

2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管,分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时,应在测量口处安装电场屏蔽装置。

3、如果设备使用的主泵为扩散泵时,应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱

4、设备的镀膜室应设有观察窗,应设有挡板装置。观察窗应能观察到沉积源的工作情况以及其他关键部位。

5、离子镀沉积源的设计应尽可能提高镀膜过程中的离化率,提高镀膜材料的利用率,合理匹配沉积源的功率,合理布置沉积源在真空室体的位置。

6、合理布置加热装置,一般加热器结构布局应使被镀工件温升均匀一致。

7、工件架应与真空室体绝缘,工件架的设计应使工件膜层均匀。

8、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和离子轰击电源,离子轰击电源应具有抑制非正常放电装置,维持工作稳定。

9、真空室接不同电位的各部分间的绝缘电阻值的大小,均按GB/T11164-1999中的4.4.6

10、其他注意事项

(1)环境温度:10-30oC;

(2)相对湿度:不大于75%

(3)冷却水进水温度:不高于25oC

(4)冷却水质:城市自来水或相当质量的水。

(5)供电电源:380V三相50Hz或220V单相50Hz(由所用电器需要而定);电压波动范围:342-399V或198-231V;频率波动范围:49-51Hz。

(6)设备所需的压缩空气,液氮,冷水、热水等的压力、温度,消耗量等,均应在产品使用说明书中写明。

(7)设备周围环境整洁,空气清洁,不应有引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。

真空镀膜设备的操作方法

1、检查真空镀膜设备各操作控制开关是否在"关"位置。

2、打开总电源开关,真空镀膜设备送电。

3、低压阀拉出。开充气阀,听不到气流声后,启动升钟罩阀,钟罩升起。

4、安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位,保证无任何杂质污物。

5、落下钟罩。

6、启动真空镀膜设备抽真空机械泵。

7、开复合真空计电源(复合真空计型号:Fzh-1A)。

8、多弧离子镀膜机当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时,低压阀推入。

9、真空镀膜设备开通冷却水,启动扩散泵,加热40min。

10、低压阀拉出。立式单开门镀膜机重复一次⑦动作程序:左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至6.7Pa时,开高压阀。

使用真空镀膜设备一定要注意的5点事项

1、不经意间的遗漏往往会致使事端的发作。如某厂镀铬工序的硅整流器疏于办理,使老鼠钻入箱体内形成了短路事端。出产中应对直流电源、过滤机、天车及控制柜等做好平时保护和按期查验,不能带病运转。

2、氰化物的毒害效果最大,如氰化钠,假设误服50~100mg即可致人猝死。除严加办理外,对不当心发作氰化物中毒者应马上进行急救,吸用亚硝酸异戊酯,用0.0002%高锰酸钾或5%硫代硫酸钠洗胃,然后送病院救治。国家对剧毒化学品的出产、经销、贮存、运送、运用和抛弃处理都有严厉划定,必需遵照执行。

3、在操作中应做好防护,如不当心将碱液溅到肌肤上应马上用2%~3%的硼酸或醋酸溶液清洗,风干后涂医用凡士林或羊毛脂。碱类的运用真空电镀前处理化学除油、电免除油运用的溶液均为碱溶液,碱液对人的肌肤有很强的粘附性和腐蚀性,会发作灼伤。

4、有机溶剂和涂料的安全运用涂料通常由有机溶剂、颜料和基料等构成。有机溶剂通常都具有溶脂性,进入人体后能迅速与脂肪类物质效果,形成神经系统失调。

5、如人力搬取须分外当心,往往在倒取后将酸坛放回时酸液容易溅起,形成烧伤事端。取酸时最佳运用虹吸设备或专用小车。这几种酸具有激烈的腐蚀性,运用中会披宣布刺激性气体。

真空镀膜设备的适用范围

1、建筑五金:卫浴五金(如水龙头).门锁.门拉手.卫浴、门锁、五金合叶、家具等;

2、制表业:可用于表壳.表带的镀膜、水晶制品;

3、其它小五金:皮革五金.不锈钢餐具.眼镜框、刀具、模具等.;

4、大型工件:汽车轮毂、不锈钢板.招牌.雕塑等;

5、不锈钢管和板(各种类型表面);

6、家具、灯具、宾馆用具;

7、锁具、拉手、卫浴五金、高尔夫球头、不锈钢餐具、器血等五金制品镀超硬装饰膜;

8、手表、表带、眼镜、首饰等装饰品镀超耐磨装饰(金银)纳米膜和纳米膜和纳米叠层膜。

真空镀膜设备作业时的应急预案

1、设备工作一段时间需清理打扫

设备工作一段时间,一般50到70炉次,需清理打扫,把粉尘清出炉外,然后空炉工作一次。工作的方式是先抽空为真空度高于10-2 Pa时加热,加热温度一般高于正常使用温度的20℃。在最高炉温时保温一个小时以上,然后自然冷却。这样使设备内部空间保持清洁。

2、更换充气气瓶

设备所用充气气瓶需更换时,拆掉稳压阀,换上一瓶新气,一定要注意安装时不许漏气。在换上新气瓶后,在工件没加热前,应在抽空过程中对炉内充气,以便在换气瓶过程中造成的管路内存有的大气抽出,使充气管路保持清洁。

3、旋转部件应涂少量润滑油

应先涂少量真空泵油对旋转部件的润滑表面。请注意清洁,非铁,沙子和灰尘进入真空泵,定位要接触良好。真空泵的安装应转动轻松,无凹凸不平和堵塞现象严重。

4、正常工作时,发现设备突然漏气

正常工作时,发现设备突然漏气,如马上能找到泄露点,须用真空封泥把泄露点封住,待工作完毕后,再做处理。如不能确定泄露处,则应立即停止工作,然后检修。

5、高温时断水、断电。

真空设备最怕的就是高温时断水、断电。因此用户最好在设备安装时建有备用水箱或连有自来水管。设备在高温断水、断电,此时泵、阀门均应处于关闭状态,操作人员应马上接通备用水或自来水,对设备进行水冷,如不能很快来电,还应打开充放气系统的手动充气阀,对设备进行充电保护,充气压力为-0.02MPA左右。然后把控制柜上的所有按钮关至“关”的位置。同时用湿毛巾搭在电极引出接口处,定期更换,以免电极接口过热,造成密封圈损坏。

真空镀膜设备维修保养

第一步技巧:

当镀膜设备工作完成到两百个镀膜的时候,拆出密封圈,及时清洁设备环境(室内环境)。如何清洁保养?首先我们要使镀上去的膜层掉落,同时释放氢气,清洗过程中要注意所使用到的溶液会灼伤人体的皮肤,所以通常我们要小心谨慎用碱饱和溶液不断来回清洗真空适合内部(内壁),再用清水洗刷真空室,并通过抹布沾上汽油擦拭抽阀里面的污渍。

第二步技巧:

当阀泵连续工作一个月之后,为保持设备的正常运转我们需要更换油。将泵启动,拧开放油螺栓,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,观察油视镜倒入新油加到一定额度,平常换油时应将油盖打开,有需要时用布擦干净箱内污垢。

第三步技巧:

扩散泵连续使用6个月以上,抽的速度会显然变慢,当操作不当应拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。首先启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到标准,否则要进行检漏。检查联接处的密封圈是否正常。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧环,无法进入工作状态。

上述是贤集网小编为大家讲解的真空镀膜设备有哪些基本技术要求?操作方法、使用一定要注意的5点事项、适用范围、设备作业时的应急预案、维修保养。关于真空镀膜设备的相关知识,小编就先介绍到这里啦,希望这些知识能够帮助到大家!当然,在这里小编要提醒大家,真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次,可以用烧碱(NaOH)饱和溶液反复真空镀膜设备擦洗真空室内壁,( 注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气,再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。

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